管式爐(CVD管式爐）
高溫管式爐(T max 1700℃)
采用1800型U型硅鉬棒加熱，專用夾具，拆卸方便。高純99剛玉管作為爐膛，爐膛潔凈，使用穩(wěn)定。用于不同真空要求，不同氣氛環(huán)境下的高溫實(shí)驗(yàn)環(huán)境。
特點(diǎn)
1、工作溫度1000～1600℃。
2、智能程序控溫儀控溫精準(zhǔn)。可編輯、儲(chǔ)存并調(diào)用多段程序。
3、爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼風(fēng)冷結(jié)構(gòu)。
4、采用不銹鋼雙層密封水冷法蘭，進(jìn)、出氣閥采用美標(biāo)針閥。
5、兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu)。
6、LED高強(qiáng)度抗破壞全不銹鋼按鈕，經(jīng)久耐用。
7、溫度過高保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值自動(dòng)斷電。
額外選配 爐內(nèi)測量系統(tǒng)（氧含量測量系統(tǒng)、溫度測量系統(tǒng)）；
真空系統(tǒng)（旋片式機(jī)械泵、擴(kuò)散泵機(jī)組、分子泵機(jī)組）；
氣氛系統(tǒng)（浮子流量計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)）；
監(jiān)控系統(tǒng)：（溫度記錄儀、觸摸屏遠(yuǎn)程監(jiān)控）；
注：選件需配置拓展平臺(tái)
技術(shù)參數(shù)
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設(shè)備型號(hào) |
設(shè)計(jì)溫度 |
管徑 |
加熱區(qū) |
溫度數(shù) |
熱電偶 |
加熱元件 |
電壓 |
功率 |
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FGL-50/17/1 |
1700℃ |
50mm |
300mm |
1個(gè) |
B型 |
硅鉬棒 |
220V |
4.0KW
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FGL-60/17/1 |
1700℃ |
60mm |
300mm |
1個(gè) |
B型 |
硅鉬棒 |
220V |
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FGL-70/17/1 |
1700℃ |
70mm |
300mm |
1個(gè) |
B型 |
硅鉬棒 |
220V |
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FGL-80/17/1 |
1700℃ |
80mm |
300mm |
1個(gè) |
B型 |
硅鉬棒 |
220V |
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FGL-90/17/1 |
1700℃ |
90mm |
300mm |
1個(gè) |
B型 |
硅鉬棒 |
220V |
5.2KW |
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FGL-100/17/1 |
1700℃ |
100mm |
300mm |
1個(gè) |
B型 |
硅鉬棒 |
220V |
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FGL-110/17/1 |
1700℃ |
110mm |
300mm |
1個(gè) |
B型 |
硅鉬棒 |
220V |
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FGL-120/17/1 |
1700℃ |
120mm |
300mm |
1個(gè) |
B型 |
硅鉬棒 |
220V |
注：其它溫區(qū)個(gè)數(shù)和加熱區(qū)長度可根據(jù)客戶工藝要求定制。
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